IEC

IEC 62047-2(2006)

Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
28

Подробная информация

Обозначение
IEC 62047-2(2006)
Заглавие на русском языке
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов
Заглавие на английском языке
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
МКС
31.080.99
Вид стандарта
ST
Дата опубликования
17.08.2006
Язык оригинала
английский;французский
Количество страниц оригинала
28
ТК – разработчик стандарта
TC 47
Номер издания
1.0
Статус
Действует
Код цены
D