Основные сведения
- Статус
- Заменен
- Количество страниц
- 52
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-1(2005)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 1. Термины и определения
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Обозначение заменяющего
- IEC 62047-1(2016)
- Дата опубликования
- 06.10.2005
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 52
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Заменен