Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 18
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-3(2006)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 3. Тонкопленочные стандартные образцы для испытаний на растяжение
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 17.08.2006
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 18
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- B