Основные сведения
- Статус
- Заменен
- Количество страниц
- 42
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-4(2008)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Обозначение заменяющего
- IEC 62047-4(2026)
- Дата опубликования
- 04.09.2008
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 42
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Заменен
- Код цены
- E