Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 34
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-6(2009)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 16.04.2009
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 34
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D