Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 252
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 60204-33(2009)
- Заглавие на русском языке
- Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию
- Заглавие на английском языке
- Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
- МКС
- 13.110, 25.040.30, 29.020
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 10.12.2009
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 252
- ТК – разработчик стандарта
- TC 44
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- N