Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 64
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-12(2011)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 13.09.2011
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 64
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- G