Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 34
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-13(2012)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 13. Методы измерения прочности сцепления при испытании на изгиб и сдвиг микроэлектромеханических структур MEMS
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend - and shear - type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 28.02.2012
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 34
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D