Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 38
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-14(2012)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 28.02.2012
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 38
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- E