Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 42
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-11(2013)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 11. Метод испытания на коэффициенты линейного теплового расширения автономного материала для микроэлектромеханических систем
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 17.07.2013
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 42
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- E