Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 30
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-21(2014)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных MEMS материалов
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 19.06.2014
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 30
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D