Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 26
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-16(2015)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 16. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Методы определения отклонения кантилеверной балки и кривизны пластины
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 05.03.2015
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 26
- ТК – разработчик стандарта
- SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- C