Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 16
Подробная информация
- Обозначение
- IEC/IEEE 62659(2015)
- Заглавие на русском языке
- Нанопроизводство. Крупносерийное производство наноэлектроники
- Заглавие на английском языке
- Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics
- МКС
- 07.030, 25.020
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 30.09.2015
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 16
- ТК – разработчик стандарта
- TC 113
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D