Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 62
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-26(2016)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 26. Методы описания и измерения микрощелевых и игольчатых структур
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 07.01.2016
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 62
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- G