Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 50
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-25(2016)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 25. Технология изготовления MEMS на основе кремния. Метод измерения прочности на отрыв-сжатие и на сдвиг контактной микроплощадки
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 29.08.2016
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 50
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- F