Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 24
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-30(2017)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 30. Методы измерения характеристик электромеханического преобразования пьезоэлектрических тонких пленок MEMS
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
- МКС
- 31.080.99, 31.140
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 15.09.2017
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 24
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- E