IEC

IEC 62047-29(2017)

Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 29. Метод определения электромеханической релаксации отдельных электропроводящих тонких пленок при комнатной температуре

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
16

Подробная информация

Обозначение
IEC 62047-29(2017)
Заглавие на русском языке
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 29. Метод определения электромеханической релаксации отдельных электропроводящих тонких пленок при комнатной температуре
Заглавие на английском языке
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 29: Electromechanical relaxation test method for freestanding conductive thin-films under room temperature
МКС
31.080.99
Вид стандарта
ST
Дата опубликования
22.11.2017
Язык оригинала
английский
Количество страниц оригинала
16
ТК – разработчик стандарта
TC 47/SC 47F
Номер издания
1.0
Статус
Действует
Код цены
D