Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 37
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-32(2019)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 32. Метод определения нелинейных колебаний резонаторов микроэлектромеханических систем (MEMS)
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 32: Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 24.01.2019
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 37
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- E