Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 12
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-31(2019)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 31. Методы испытания на четырех-точечный изгиб слоистых материалов микроэлектромеханических систем (MEMS) для измерения энергии адгезии на поверхности раздела
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 31: Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 05.04.2019
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 12
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D