Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 16
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-34(2019)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 34. Методы испытаний на пластине пьезорезистивных пневмодатчиков микроэлектромеханических систем (MEMS)
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer
- МКС
- 31.080.99; 31.140
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 05.04.2019
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 16
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D