Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 34
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-37(2020)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 37. Климатические испытания пьезорезистивных тонких пленок микроэлектромеханических систем (MEMS), используемых в датчиках
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
- МКС
- 31.080.99, 31.140
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 28.04.2020
- Язык оригинала
- английский;французский
- Количество страниц оригинала
- 34
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- E