Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 22
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-42(2022)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 42. Методы измерения характеристик электромеханического преобразования пьезоэлектрического МЭМС-кантилевера
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 16.09.2022
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 22
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- F