IEC

IEC 62047-44(2024)

Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 44. Методы измерения динамических характеристик МЭМС-резонаторов, чувствительных к электрическому полю

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
19

Подробная информация

Обозначение
IEC 62047-44(2024)
Заглавие на русском языке
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 44. Методы измерения динамических характеристик МЭМС-резонаторов, чувствительных к электрическому полю
Заглавие на английском языке
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices
МКС
31.080.99
Вид стандарта
ST
Дата опубликования
22.02.2024
Язык оригинала
английский
Количество страниц оригинала
19
ТК – разработчик стандарта
TC 47/SC 47F
Номер издания
1.0
Статус
Действует
Код цены
E