Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 16
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-47(2024)
- Заглавие на русском языке
- Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 47. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности микроструктур на изгиб
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 47: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of bending strength of microstructures
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 23.08.2024
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 16
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D