Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 15
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-46(2025)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 46. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности на разрыв мембраны наноразмерной толщины
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 46: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 23.04.2025
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 15
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D