Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 14
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-53(2025)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 53. Электротермическое передающее устройство MEMS
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 53: MEMS electrothermal transfer device
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 02.10.2025
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 14
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 1.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- D