Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 19
Подробная информация
- Обозначение
- IEC 62047-4(2026)
- Заглавие на русском языке
- Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS
- Заглавие на английском языке
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
- МКС
- 31.080.99
- Вид стандарта
- ST
- Дата опубликования
- 07.01.2026
- Язык оригинала
- английский
- Количество страниц оригинала
- 19
- ТК – разработчик стандарта
- TC 47/SC 47F
- Номер издания
- 2.0
- Статус
- Действует
- Код цены
- E