Основные сведения
- Статус
- Заменен
- Количество страниц
- 28
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 14237:2000
- Статус
- Заменен
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
- Дата отмены
- 09.07.2010
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- Обозначение заменяющего
- ISO 14237:2010
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 6
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 01.02.2000
- Количество страниц оригинала
- 28