Основные сведения
- Статус
- Заменен
- Количество страниц
- 28
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 14706:2000
- Статус
- Заменен
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Химический анализ поверхности. Определение загрязнения поверхности элементами на силиконовых пластинках методом флюоресцентной рентгеновской общеотражающей спектроскопии
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- Дата отмены
- 25.07.2014 00:00:00
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- Обозначение заменяющего
- ISO 14706:2014
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 01.12.2000
- Количество страниц оригинала
- 28