ISO

ISO 18114:2003

Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с вторичными ионами. Определение коэффициентов относительной чувствительности по эталонным материалам с имплантированными ионами

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

Основные сведения

Статус
Заменен
Количество страниц
12

Подробная информация

Обозначение
ISO 18114:2003
Статус
Заменен
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с вторичными ионами. Определение коэффициентов относительной чувствительности по эталонным материалам с имплантированными ионами
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
Дата отмены
11.05.2021 00:00:00
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
Обозначение заменяющего
ISO 18114:2021
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 6
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
24.04.2003
Количество страниц оригинала
12
Код цены
A