ISO

ISO 20341:2003

Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с применение вторичного йона. Метод оценки параметров по глубине разрешения с множественными дельта-слойными эталонными материалами

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
11

Подробная информация

Обозначение
ISO 20341:2003
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с применение вторичного йона. Метод оценки параметров по глубине разрешения с множественными дельта-слойными эталонными материалами
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 6
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
31.07.2003
Количество страниц оригинала
11
Код цены
A