Основные сведения
- Статус
- Заменен
- Количество страниц
- 16
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 17560:2002
- Статус
- Заменен
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Анализ поверхностей химический. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод профилирования по глубине для бора в кремнии
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for depth profiling of boron in silicon
- Дата отмены
- 10.09.2014 00:00:00
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- Обозначение заменяющего
- ISO 17560:2014
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 6
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 18.07.2002
- Количество страниц оригинала
- 16