Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 26
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 23812:2009
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод калибровки глубины для кремния с помощью многослойных дельта-эталонных материалов
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 6
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 08.04.2009
- Количество страниц оригинала
- 26
- Код цены
- D