Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 20
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 12406:2010
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Поверхностный химический анализ. Масс-спектрометрия с вторичным ионом. Метод профилирования глубины местонахождения мышьяка в кремнии
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of arsenic in silicon
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 6
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 08.11.2010
- Количество страниц оригинала
- 20
- Код цены
- C