ISO

ISO 16413:2013

Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry -- Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

Основные сведения

Статус
Заменен
Количество страниц
38

Подробная информация

Обозначение
ISO 16413:2013
Статус
Заменен
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных
Заглавие на английском языке
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry -- Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
Дата отмены
14.08.2020 00:00:00
Код КС (ОКС, МКС)
35.240.70; 71.040.40
Обозначение заменяющего
ISO 16413:2020
ТК – разработчик стандарта
TC 201
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
12.02.2013
Количество страниц оригинала
38
Код цены
E