Основные сведения
- Статус
- Заменен
- Количество страниц
- 26
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 16531:2013
- Статус
- Заменен
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Поверхностный химический анализ. Профиль распределения примеси по глубине. Методы регулирования ионного пучка и связанное с этим измерение тока и плотности тока для профилирования примеси по глубине в AES и XPS
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
- Дата отмены
- 05.10.2020 01:00:00
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- Обозначение заменяющего
- ISO 16531:2020
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 4
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 16.05.2013
- Количество страниц оригинала
- 26
- Код цены
- C