ISO

ISO 11952:2014

Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия (SPM). Определение геометрических размеров с использованием SPM. Калибровка измерительных систем

Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

Основные сведения

Статус
Заменен
Количество страниц
66

Подробная информация

Обозначение
ISO 11952:2014
Статус
Заменен
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия (SPM). Определение геометрических размеров с использованием SPM. Калибровка измерительных систем
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis -- Scanning-probe microscopy -- Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
Дата отмены
21.05.2019 00:00:00
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
Обозначение заменяющего
ISO 11952:2019
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 9
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
12.05.2014
Количество страниц оригинала
66
Код цены
G