Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 32
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 14706:2014
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Химический анализ поверхности. Определение загрязнения химическими элементами поверхности кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF)
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- Обозначение заменяемого(ых)
- ISO 14706:2000
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 2
- Дата опубликования
- 25.07.2014
- Количество страниц оригинала
- 32
- Код цены
- D