Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 18
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 17560:2014
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод профилирования по глубине для бора в кремнии
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- Обозначение заменяемого(ых)
- ISO 17560:2002
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 6
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 2
- Дата опубликования
- 10.09.2014
- Количество страниц оригинала
- 18
- Код цены
- B