Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты на определение и калибровку пространственной разрешающей способности электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации примесей и других целей
Surface chemical analysis -- Scanning probe microscopy -- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Основные сведения
Статус
Действует
Количество страниц
22
Подробная информация
Обозначение
ISO 13083:2015
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Стандарты на определение и калибровку пространственной разрешающей способности электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM, для 2D-визуализации примесей и других целей
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis -- Scanning probe microscopy -- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
