ISO

ISO 14644-12:2018

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
18

Область применения

Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже – “нанодиапазон”. Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для “эксплуатируемого” состояния

Подробная информация

Обозначение
ISO 14644-12:2018
Обозначение
ISO 14644-12:2018
Обозначение
ISO 14644-12:2018
Статус
Действует
Статус
Действует
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Вид стандарта
ST
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Заглавие на русском языке
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Заглавие на русском языке
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Заглавие на английском языке
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
Заглавие на английском языке
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
Заглавие на английском языке
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
Код КС (ОКС, МКС)
13.040.35
Код КС (ОКС, МКС)
13.040.35
Код КС (ОКС, МКС)
13.040.35
ТК – разработчик стандарта
TC 209
ТК – разработчик стандарта
TC 209
ТК – разработчик стандарта
TC 209
Язык оригинала
английский
Язык оригинала
английский
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Номер издания
1
Номер издания
1
Дата опубликования
30.08.2018
Дата опубликования
30.08.2018
Дата опубликования
30.08.2018
Количество страниц оригинала
18
Количество страниц оригинала
18
Количество страниц оригинала
18
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже – “нанодиапазон”. Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для “эксплуатируемого” состояния
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже – “нанодиапазон”. Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для “эксплуатируемого” состояния
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже – “нанодиапазон”. Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для “эксплуатируемого” состояния
Количество страниц перевода
20
Количество страниц перевода
20
Количество страниц перевода
20
Код цены
B
Код цены
B
Код цены
B