ISO

ISO 18516:2019

Химический анализ поверхности. Определение разрешения в поперечном направлении и резкости луча в диапазоне от нанометров до микрометров

Surface chemical analysis -- Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
60

Подробная информация

Обозначение
ISO 18516:2019
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Определение разрешения в поперечном направлении и резкости луча в диапазоне от нанометров до микрометров
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis -- Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
Обозначение заменяемого(ых)
ISO 18516:2006
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 2
Язык оригинала
английский
Номер издания
2
Дата опубликования
14.01.2019
Количество страниц оригинала
60
Код цены
G
Примечание
Документ содержит цветные иллюстрацции