ISO

ISO 22415:2019

Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод определения коэффициентов распределения кластера аргона при измерении распределения по глубине органических материалов

Surface chemical analysis -- Secondary ion mass spectrometry -- Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
38

Подробная информация

Обозначение
ISO 22415:2019
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод определения коэффициентов распределения кластера аргона при измерении распределения по глубине органических материалов
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis -- Secondary ion mass spectrometry -- Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 6
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
10.05.2019
Количество страниц оригинала
38
Код цены
E
Примечание
Документ содержит цветные иллюстрации