Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 10
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 21859:2019
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Керамика тонкая (высококачественная керамика, высококачественная техническая керамика). Метод определения плазменного сопротивления керамических компонентов оборудования для электронной техники
- Заглавие на английском языке
- Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) -- Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
- Код КС (ОКС, МКС)
- 81.060.30
- ТК – разработчик стандарта
- TC 206
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 18.06.2019
- Количество страниц оригинала
- 10
- Код цены
- A