Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 54
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 21466:2019
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM
- Заглавие на английском языке
- Microbeam analysis Scanning electron microscopy Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
- Код КС (ОКС, МКС)
- 37.020
- ТК – разработчик стандарта
- TC 202/SC 4
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 13.12.2019
- Количество страниц оригинала
- 54
- Код цены
- F