Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 40
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 16413:2020
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных
- Заглавие на английском языке
- Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
- Код КС (ОКС, МКС)
- 35.240.70; 71.040.40
- Обозначение заменяемого(ых)
- ISO 16413:2013
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 2
- Дата опубликования
- 14.08.2020
- Количество страниц оригинала
- 40
- Код цены
- E
- Примечание
- Документ содержит цветные иллюстрации