ISO

ISO 16531:2020

Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для профилирования глубины в AES и XPS

Surface chemical analysis Depth profiling Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
26

Подробная информация

Обозначение
ISO 16531:2020
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для профилирования глубины в AES и XPS
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis Depth profiling Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
Обозначение заменяемого(ых)
ISO 16531:2013
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 4
Язык оригинала
английский
Номер издания
2
Дата опубликования
05.10.2020
Количество страниц оригинала
26
Код цены
D