Анализ с использованием микропучка. Наиболее важные инструментальные рабочие параметры для определения технических характеристик и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров (EDS), используемых вместе с растровым электронным микроскопом (SEM) или электронным микроанализатором (EPMA)
Microbeam analysis Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
Основные сведения
Статус
Действует
Количество страниц
20
Подробная информация
Обозначение
ISO 15632:2021
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Анализ с использованием микропучка. Наиболее важные инструментальные рабочие параметры для определения технических характеристик и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров (EDS), используемых вместе с растровым электронным микроскопом (SEM) или электронным микроанализатором (EPMA)
Заглавие на английском языке
Microbeam analysis Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
