Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 34
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 14644-17:2021
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Примеры использования результатов измерения скорости осаждения частиц
- Заглавие на английском языке
- Cleanrooms and associated controlled environments Part 17: Particle deposition rate applications
- Код КС (ОКС, МКС)
- 03.220.20; 35.240.60
- ТК – разработчик стандарта
- TC 209
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 08.02.2021
- Количество страниц оригинала
- 34
- Код цены
- D