Химический анализ поверхности. Информация, поступающая в близком к реальному времени, из обзорной спектрограммы при рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Правила идентификации загрязнения поверхности углеродсодержащими соединениями и внесения поправок на загрязнение
Surface chemical analysis Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containing compounds
Основные сведения
Статус
Действует
Количество страниц
24
Подробная информация
Обозначение
ISO 22581:2021
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Информация, поступающая в близком к реальному времени, из обзорной спектрограммы при рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Правила идентификации загрязнения поверхности углеродсодержащими соединениями и внесения поправок на загрязнение
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containing compounds
